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芯片半導體專用真空烤箱
🥃怡和興芯片半導體專用真空烤箱采用模擬工程學的數字技術控制真空度,通過電磁閥全自動數顯控制,提供更加精確有效的真空度控制。留有安裝真空泵的空間、采用快速連接法蘭配管方式、配備獨立過升
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潔凈烤箱
♑適用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;
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半導體無氧烤箱
𒁏無氧化烘箱工作時,工作室內充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。在工業中用途廣泛:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板等適用于半導
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LED固化隧道爐
♎針對LED封裝中的固晶以及點膠工藝,通過獨立鏈條式軌道設計,保證料盒平穩的隧道爐中進行烘烤。采取局域化多溫區設置,保證在寬度和長度滿足高產能批量生產要求的情況下,也具備150±5℃
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LED自動排支架及除濕隧道爐
༒LED封裝專用隧道爐除了具備烘烤自動化,從傳統立式烘箱轉化為自動傳動的隧道式烤爐以外,同時具備部分機械動作。結合自動排支架以及自動烘烤工藝,可以與上下段工藝設備進行自動化對接,減少
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等離子清洗機
ꦦ用于對半導體封裝過程中 W/B 前、Molding 前的 L/F、Substrate、BGA 產品清洗,電漿清洗制程中具有可重復性高、可控性強、稼動率高,無污染產生,以及運營成本低
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非標自動化隧道爐烘烤線
⛦自動化對接烘烤線主要應對自動化生產中,烘烤工藝自動化解決方案。超過15年的烘烤行業經驗,以及自動化設備生產的經驗,可以為客戶提供各類非標自動化烘烤解決方案。
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無氧潔凈隧道爐
🤡能夠在氧氣濃度低至100 ppm 的氣氛中,保持100級潔凈度,最高加熱溫度可達 300℃ 的溫度,并實現多溫區烘烤產品。非常適合精密元器件晶圓,晶振退火,環氧樹脂固化等熱處理。連
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