開發與試驗設備


	無氧干燥箱

	無氧烘箱應用于PI、BCB、LCP固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求，適合半導體制造、COB封裝、醫療衛生、柔性線路板印刷、精密模具退火等行業的無氧化干燥烘烤工藝要求。

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	無塵烤箱

	潔凈烘箱全新開發觸摸屏操作系統，帶高精度PID主控儀，控溫精度為±0.1℃，自動恒溫。可以保存配方，查看溫度曲線，導出升溫數據等。精密半導體潔凈車間用無塵潔凈烘箱適合于潔凈車間內使用，適用于高精密半導體中烘干，膠水固化，精密光學元件清洗后烘干等熱處理。

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	高溫度無氧烘烤箱

	高性能無氧烘箱能夠在氧氣濃度低至500ppm的氣氛中在高達500℃的溫度下進行熱處理。這使得該系列非常適合 MLCC和LTCC 脫脂，以及各類抗氧化熱處理。同時采用由冷卻水循環的外部冷卻機構，可以在不影響爐內氣氛的情況下進行快速冷卻，從而縮短處理時間。

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	高溫高真空烘箱

	高溫高真空烘箱干燥會降低沸點，可以用于干燥加熱敏感材料（包括粉末）以提取水分，將水以外的化合物的損失降至最低。同時結合加熱與真空環境，可以對材料進行預熱增加材料流動性，然后在環境低壓狀態可以用于材料脫除氣泡工藝。

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