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半導體烘烤
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| 無氧烘箱 | |
ꦇ無氧恒溫干澀箱適用于PI、BCB、LCP固定烘烤、光刻膠固定、網絡工業陶瓷用料烘干功能的唯一性加工要，時候半導打造、COB封口、醫療服務安全、柔軟電路板打印、精密磨具磨具降溫等領域的無防氧化干澀烘烤加工要。 | |
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 | 潔凈無塵烘箱 |
| 主要通過空氣過濾器來凈化環境,避免空氣中的細小顆粒物進去箱內。箱內空氣封閉自循環，經100級耐高溫高效空氣過濾器反復過濾，使工作室內處于無塵狀態。無塵烘箱適用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。 | |
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| 高溫無氧烘箱 | |
| 高性能無氧烘箱能夠在氧氣濃度低至500ppm的氣氛中在高達500℃的溫度下進行熱處理。這使得該系列非常適合 MLCC和LTCC 脫脂，以及各類抗氧化熱處理。同時采用由冷卻水循環的外部冷卻機構，可以在不影響爐內氣氛的情況下進行快速冷卻，從而縮短處理時間。 | |
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| 高溫高真空烘箱 | |
| 高溫高真空烘箱干燥會降低沸點，可以用于干燥加熱敏感材料（包括粉末）以提取水分，將水以外的化合物的損失降至最低。同時結合加熱與真空環境，可以對材料進行預熱增加材料流動性，然后在環境低壓狀態可以用于材料脫除氣泡工藝。 | |
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| 無氧潔凈隧道爐 | |
| 無氧潔凈隧道爐能夠在氧氣濃度低至 100ppm 的氣氛中，保持100級潔凈度，最高加熱溫度可達 300℃ 的溫度，并實現多溫區烘烤產品。非常適合精密元器件晶圓，晶振退火，環氧樹脂固化等熱處理。連續式生產的模式，可以與前后工藝的自動化設備聯動，實現自動化生產。 | |
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